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华工科技:公司开发了覆盖前后道制程的10套装备
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同花顺(300033)金融研究中心 06 月 18 日讯,有投资者向华工科技(000988)提问, 董秘你好 ! 公司传感器(885946)有切入机器人赛道吗?激光领域是否批量拓展到半导体(881121)领域?

公司回答表示,投资者您好,面向第三代化合物半导体(881121)领域,公司通过自主研发 + 产业链合作的形式,开发了覆盖前、后道制程的 10 套装备,包括晶圆表面切割智能装备、晶圆隐形切割智能装备、晶圆改质智能装备、全自动晶圆退火装备、晶圆衬底及外延量测装备等产品。感谢您对公司的关注。

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