证券之星消息，南大光电 ( 300346 ) 06 月 18 日在投资者关系平台上答复投资者关心的问题。

投资者：公司曾在调研中披露前驱体产品可用于先进逻辑制程。请问目前应用于 3nm/5nm 节点的 ALD 前驱体，在 2026 年 Q2 的出货量环比 Q1 是否有明显增长 ? 该产品目前的产能利用率是否已超过 50%?"

南大光电董秘：感谢您的关注！公司前驱体产品整体产能利用率超 50%，具体销售情况请关注相关定期报告。

投资者：公司曾在调研中披露前驱体产品可用于先进逻辑制程。请问目前应用于 3nm/5nm 节点的 ALD 前驱体，在 2026 年 Q2 的出货量环比 Q1 是否有明显增长 ? 该产品目前的产能利用率是否已超过 50%?"

南大光电董秘：感谢您的关注！公司前驱体产品整体产能利用率超 50%，具体销售情况请关注相关定期报告。

投资者：请问贵公司的三氟化氮纯度等级为多少 N？总产能如何，是否达产？主要用途是什么，是否可以应用于高纯度六氟化钨的制造？

南大光电董秘：感谢您的关注！公司三氟化氮产品主要应用于 IC、LCD 制造中的等离子蚀刻和腔体清洗环节，现有产能 9200 吨。

投资者：董秘你好，MO 源气体作为光芯片上游材料，近期有没有涨价效应，产品会不会供不应求

南大光电董秘：感谢您的关注！目前公司 MO 源产品售价稳定。

投资者：请问公司是否生产销售三甲基铟，如果有销售的话产品是否涨价，涨价幅度多少

南大光电董秘：感谢您的关注！公司三甲基铟产品售价稳定。

投资者：公司磷烷和砷烷目前产销如何？全球的半导体供应链紧缺，对于公司而言，是否存在机会。

南大光电董秘：感谢您的关注！公司氢类特气业务持续深耕成熟应用领域，聚焦品质安全与服务效能提升，不断巩固市场份额与技术优势。近年来，该业务保持稳健增长。

投资者：您好，请问目前 MO 源二季度销售情况是否同比增加；硫磺涨价对公司有和影响，谢谢

南大光电董秘：感谢您的关注！公司 MO 源销售情况稳定，具体请关注相关定期报告。现阶段，硫磺涨价未对公司业务产生明显影响。

投资者：董秘您好，近期关于光芯片上游 MO 源材料三甲基铟（TMI）在资本市场关注度极高，有几个具体问题想请教：1. 基于索尔思的扩产节奏，公司对 2026-2027 年来自索尔思的 MO 源收入是否有内部预期？相比 2025 年，是否有望实现同比例大幅增长？

南大光电董秘：感谢您的关注！目前公司 MO 源销售情况稳定。公司将积极关注市场，加快业务向高端化合物方向优化整合。

投资者：请问公司砷烷，和磷烷在市场处于什么地位，公司该业务目前发展怎么样？

南大光电董秘：感谢您的关注！公司于 2013 年承担国家 02 专项 " 高纯特种电子气体研发与产业化项目 "，仅用 3 年时间就成功实现了高纯砷烷、磷烷的产业化，为我国极大规模集成电路制造提供了核心电子原材料。目前公司氢类电子特气的产能、品质已达到行业先进水平。

本文数据来源于深圳证券交易所互动易，仅供参考不构成投资建议。

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