证券之星消息，5 月 21 日，科创半导体设备 ETF 鹏华基金（589020）跌 7.38%，成交额 7.75 亿元。当日份额增加了 2.08 亿份，最新份额为 5.82 亿份，近 20 个交易日份额增加 2.04 亿份。当日资金净流入 3.67 亿元（资金流向是当日计算的资产净值和上一交易日计算的资产净值相减得出的），最新资产净值计算值为 11.87 亿元。科创半导体设备 ETF 鹏华基金跟踪标的为上证科创板半导体材料设备主题指数，成立（2025-08-27）以来超额回报为 -4.33%，近一个月超额回报为 -0.38%，管理人为鹏华基金公司，基金经理为林嵩。