证券之星 昨天
华海清科获得发明专利授权:“一种晶圆承载单元、后处理装置、翻转方法和处理设备”
index_new5.html
../../../zaker_core/zaker_tpl_static/wap/tpl_keji1.html

 

证券之星消息,根据天眼查 APP 数据显示华海清科(688120)新获得一项发明专利授权,专利名为 " 一种晶圆承载单元、后处理装置、翻转方法和处理设备 ",专利申请号为 CN202510732613.2,授权日为 2025 年 8 月 19 日。

专利摘要:本发明提供一种晶圆承载单元、后处理装置、翻转方法和处理设备,晶圆承载单元包括:承载托架,检测组件和调节组件;承载托架包括可翻转的主体,主体包括固定安装的上限位件、下限位件驱动器和活动安装的下限位件,用于在主体翻转过程中限位和承载晶圆,下限位件驱动器用于驱动下限位件靠近或远离主体的中心;检测组件用于在主体翻转至水平状态时,检测晶圆沿上限位件向下限位件方向的倾斜角度;调节组件包括调节驱动器和调节支撑元件,调节驱动器将调节支撑元件驱动至以倾斜角度支撑晶圆,并在下限位件驱动器驱动下限位件远离后,将调节支撑元件驱动至水平状态。本发明能将倾斜晶圆调平,且不会污染晶圆和损伤限位件。

今年以来华海清科新获得专利授权 60 个,较去年同期增加了 140%。结合公司 2024 年年报财务数据,2024 年公司在研发方面投入了 3.82 亿元,同比增 25.76%。

通过天眼查大数据分析,华海清科股份有限公司共对外投资了 10 家企业,参与招投标项目 229 次;财产线索方面有商标信息 89 条,专利信息 707 条,著作权信息 30 条;此外企业还拥有行政许可 31 个。

数据来源:天眼查 APP

以上内容为证券之星据公开信息整理,由 AI 算法生成(网信算备 310104345710301240019 号),不构成投资建议。

宙世代

宙世代

ZAKER旗下Web3.0元宇宙平台

一起剪

一起剪

ZAKER旗下免费视频剪辑工具

相关标签

专利 证券之星 海清 晶圆
相关文章
评论
没有更多评论了
取消

登录后才可以发布评论哦

打开小程序可以发布评论哦

12 我来说两句…
打开 ZAKER 参与讨论