证券之星消息,根据天眼查 APP 数据显示华海清科(688120)新获得一项发明专利授权,专利名为 " 一种晶圆承载单元、后处理装置、翻转方法和处理设备 ",专利申请号为 CN202510732613.2,授权日为 2025 年 8 月 19 日。
专利摘要:本发明提供一种晶圆承载单元、后处理装置、翻转方法和处理设备,晶圆承载单元包括:承载托架,检测组件和调节组件;承载托架包括可翻转的主体,主体包括固定安装的上限位件、下限位件驱动器和活动安装的下限位件,用于在主体翻转过程中限位和承载晶圆,下限位件驱动器用于驱动下限位件靠近或远离主体的中心;检测组件用于在主体翻转至水平状态时,检测晶圆沿上限位件向下限位件方向的倾斜角度;调节组件包括调节驱动器和调节支撑元件,调节驱动器将调节支撑元件驱动至以倾斜角度支撑晶圆,并在下限位件驱动器驱动下限位件远离后,将调节支撑元件驱动至水平状态。本发明能将倾斜晶圆调平,且不会污染晶圆和损伤限位件。
今年以来华海清科新获得专利授权 60 个,较去年同期增加了 140%。结合公司 2024 年年报财务数据,2024 年公司在研发方面投入了 3.82 亿元,同比增 25.76%。
通过天眼查大数据分析,华海清科股份有限公司共对外投资了 10 家企业,参与招投标项目 229 次;财产线索方面有商标信息 89 条,专利信息 707 条,著作权信息 30 条;此外企业还拥有行政许可 31 个。
数据来源:天眼查 APP
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