证券之星 06-14
华海清科获得发明专利授权:“一种晶圆清洗装置”
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证券之星消息,根据天眼查 APP 数据显示华海清科(688120)新获得一项发明专利授权,专利名为 " 一种晶圆清洗装置 ",专利申请号为 CN202210971268.4,授权日为 2025 年 6 月 13 日。

专利摘要:本发明公开了一种晶圆清洗装置,其包括:槽体;支撑组件,位于所述槽体中,其为转动件,用于竖向支撑并带动待清洗晶圆旋转;清洗刷,水平设置并绕其轴线滚动;清洁件,位于所述槽体中,用于朝向转动件喷射流体,以移除积聚于转动件的颗粒物;所述清洁件的喷射方向与待清洗晶圆的旋转方向相匹配。

今年以来华海清科新获得专利授权 43 个,较去年同期增加了 138.89%。结合公司 2024 年年报财务数据,2024 年公司在研发方面投入了 3.82 亿元,同比增 25.76%。

数据来源:天眼查 APP

以上内容为证券之星据公开信息整理,由 AI 算法生成(网信算备 310104345710301240019 号),不构成投资建议。

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