IT之家 05-06
英国南安普敦大学开设全球第二家电子束光刻工厂
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IT 之家 5 月 6 日消息,英国南安普敦大学当地时间 4 月 30 日宣布开设全球第二家电子束光刻工厂。这是日本境外的首座同类设施,也是欧洲首个尖端半导体工厂。

根据 IT 之家的了解,不同于现有的主流商用技术路线 —— 激光图案化,电子束光刻以高能电子对光刻胶进行曝光,绘制出半导体电路图案。

电子束光刻技术具备优秀的分辨率,可不经过掩膜直写,但也存在着效率较低、控制复杂的等弱点,在实际商业生产中通常被用在掩膜制作这一辅助工艺中,不以核心工艺技术出现。

出席活动的英国科技部国务大臣 Patrick Vallance 表示:

英国拥有一些世界上最令人兴奋的半导体研究成果,南安普敦的新电子束设施将极大地提升我们国家的能力。

通过对基础设施和人才两方面的投资,我们为研究人员和创新者提供在英国开发下一代芯片所需的支持。

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