证券之星消息，根据天眼查 APP 数据显示华海清科（688120）新获得一项发明专利授权，专利名为 " 一种晶圆旋转机构和晶圆处理装置 "，专利申请号为 CN202210874101.6，授权日为 2025 年 3 月 18 日。

专利摘要：本发明公开了一种晶圆旋转机构和晶圆处理装置，该机构包括主动轮组件和从动轮组件；所述主动轮组件包括前压盖、后压盖和驱动轮，所述前压盖和后压盖配合将驱动轮夹紧在二者之间，所述驱动轮的侧边缘具有环形卡槽，所述环形卡槽用于抵接晶圆并带动晶圆旋转，所述环形卡槽由弹性材料制成，所述环形卡槽包括两个相对的用于限位晶圆的侧壁，所述侧壁的内侧具有倾斜的引导面。

今年以来华海清科新获得专利授权 18 个，较去年同期增加了 63.64%。结合公司 2024 年中报财务数据，2024 上半年公司在研发方面投入了 1.71 亿元，同比增 23.19%。

数据来源：天眼查 APP

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