文｜胡依婷

编辑｜袁斯来

硬氪获悉，近日深圳市罗博威视科技有限公司（以下简称 " 罗博威视 "）成功完成近亿元 A 轮融资，投资方包括合肥建投和合肥创新投等。此次融资将主要用于华东生产基地的建设以及武汉罗博半导体高端量检测装备的国产替代市场化推广。

罗博威视成立于 2014 年，专注于视觉检测和量测设备的研发与销售，业务涵盖消费电子、半导体、显示面板、军工和新能源汽车等多个领域。公司已成功实现多种尺寸的视觉检测装备与整线解决方案的产业化，长期合作伙伴包括华星光电、OPPO、vivo、信维、领益、东尼、立讯精密、京东方、天马和小天才等国内知名企业，并已进入华为、比亚迪、苹果、谷歌和 Meta 等全球知名品牌的供应链体系。

自 2020 年起，罗博威视开始投入半导体高精密光学量检测关键技术及装备研发，并于 2023 年成立了武汉罗博半导体科技有限公司。根据 VLSI 的数据，2023 年全球半导体检测和量测设备市场规模达到 128.3 亿美元，同比增长 19%，市场潜力巨大。

目前，全球半导体量检测设备市场主要被海外巨头垄断，科磊、日立、阿斯麦和 Camtek 等厂商占据了超过 80% 的市场份额。国内上市企业如中科飞测、睿励科学和赛腾股份等已设立相关产线，正处于国产化替代的关键时期。

在此背景下，罗博威视子公司武汉罗博半导体于 2023 年正式推出全自动 Wafer 光学量检测装备，目前已有 6 款产品上市。上述设备能够针对先进封装封测段切割前、切割后晶圆进行 2D 和 3D 一体的光学量检测，能够有效识别线路污染、保护层划伤、残胶、气泡等对芯片性能造成影响的缺陷。同时，设备还可对晶圆的结构尺寸和结构特性进行量化描述，如 RDL 线宽、线间距、关键尺寸等物理参数。

全自动 Wafer 光学量检测装备，图源企业

与国际竞争对手 Camtek 的同类产品相比，罗博半导体的高精度光学量检测设备在功能完备性、检测精度、检测速度、机台稳定性、AI 性能等多方面，都具有较强的竞争力。目前，公司已累计测试超过十万片晶圆，缺陷检测精度可达到 0.7 μ m，缺陷检出率高达 99.5% 以上，过检率控制在 0.5%。

罗博威视投融资总监石邦进表示，相较于 Camtek，罗博威视能够为国内客户提供更具本土化的服务和更及时的响应，满足其定制化需求。罗博半导体晶圆 2D+3D 量检测装备已于 2024 年完成小批量交付验收，预计明年可实现突破性增长，单一产品预估产值过亿。

除了半导体光学量检测设备，罗博威视还为华星光电等长期合作的大型客户提供屏幕与显示面板领域的视觉检测设备，检测基板崩边缺角、保护膜不良、偏光片不良以及液晶屏幕显示中的暗点、辉点和暗线等缺陷。

团队方面，罗博威视的技术团队拥有十余年的行业经验，公司研发与技术人员占比接近 50%。