金融界 04-27
锐科激光:全波段系列产品自主创新,布局光刻配套光源技术储备
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有投资者在互动平台向锐科激光提问:" 请问公司的产品能用于配套光刻机吗?"

针对上述提问,锐科激光回应称:" 尊敬的投资者,您好 ! 锐科激光‘全波段系列产品’围绕激光领域‘全波长、全功率、全脉宽、全应用’目标,实现各层级基础技术、材料、器件、光源自主创新。其中,波长仅为 213nm 的深紫外纳秒光纤激光器最大平均功率达到 150mW,单脉冲能量超过 0.6uJ,在 DUV 激光检测、半导体光刻、FBG 刻写、光谱分析等先进应用领域有着重要作用。公司高度重视光刻机光源国产化需求,积极布局光刻配套光源相关技术储备,公司研发技术情况请以定期报告披露的情况为准。谢谢 !"

本文源自:市场资讯

作者:公告君

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