钛媒体快报 16小时前
消息称三星电子为平泽P5晶圆厂PH1阶段下达70余台光刻机订单
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钛媒体 App 4 月 7 日消息,据报道,三星电子已为平泽半导体生产基地 P5 晶圆厂集群的首个阶段 PH1 订购了 70 余台光刻机,为该阶段 2027 年的投运做好准备。平泽 P5 PH1 所需的这些光刻机来自 ASML 和佳能,其中约 20 台为 ASML 的 EUV 曝光系统。P5 PH1 将用于 1c nm 制程 DRAM 生产,将同时制造通用内存和 HBM。(广角观察)

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光刻机 三星电子 asml 佳能 生产基地
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