证券之星消息，根据天眼查 APP 数据显示芯动联科（688582）新获得一项实用新型专利授权，专利名为 " 用于深槽刻蚀工艺的散热结构 "，专利申请号为 CN202422370848.5，授权日为 2025 年 8 月 19 日。

专利摘要：本实用新型公开一种用于深槽刻蚀工艺的散热结构，属于芯片制造的技术领域，具体是当 MEMS 结构层被隔离沟隔离为外围结构和悬空的 MEMS 功能结构后，需要继续刻蚀 MEMS 功能结构以形成间隙用来将 MEMS 功能结构隔离为能够活动的各功能单元，此刻蚀过程的热量无法散热，利用刻蚀的微负载效应，通过在隔离沟内设置散热结构，散热结构与 MEMS 功能结构之间形成大深宽比的深槽，保留 MEMS 功能结构向外围区锚点散热的通道，使 MEMS 功能结构刻蚀时产生的热量能通过外围区锚点散热，确保刻蚀工艺正常完成，有效解决了悬空结构在刻蚀过程中的散热问题，提升工艺能力，刻蚀形貌符合设计需求。

今年以来芯动联科新获得专利授权 7 个，较去年同期增加了 40%。结合公司 2025 年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了 5810.51 万元，同比增 8.17%。

通过天眼查大数据分析，安徽芯动联科微系统股份有限公司共对外投资了 3 家企业，参与招投标项目 12 次；财产线索方面有商标信息 25 条，专利信息 73 条；此外企业还拥有行政许可 3 个。

数据来源：天眼查 APP

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