证券之星消息，根据天眼查 APP 数据显示华海清科（688120）新获得一项发明专利授权，专利名为 " 一种晶圆清洗装置 "，专利申请号为 CN202210971268.4，授权日为 2025 年 6 月 13 日。

专利摘要：本发明公开了一种晶圆清洗装置，其包括：槽体；支撑组件，位于所述槽体中，其为转动件，用于竖向支撑并带动待清洗晶圆旋转；清洗刷，水平设置并绕其轴线滚动；清洁件，位于所述槽体中，用于朝向转动件喷射流体，以移除积聚于转动件的颗粒物；所述清洁件的喷射方向与待清洗晶圆的旋转方向相匹配。

今年以来华海清科新获得专利授权 43 个，较去年同期增加了 138.89%。结合公司 2024 年年报财务数据，2024 年公司在研发方面投入了 3.82 亿元，同比增 25.76%。

数据来源：天眼查 APP

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